典型文献
长线列长波红外探测器共面度评估模型
文献摘要：
受热应力和边界条件的影响,长线列长波红外探测器工作时会产生变形,这可能会对芯片造成损伤或使光敏面出现不共焦.对热、力耦合条件下探测器的共面度进行评估,这是长线列长波红外焦面组件设计的重要内容之一.对可能引起探测器变形的因素进行了分析,通过有限元仿真确定其中的主要因素.以这些主要因素为变量,基于层合板理论,建立了热、力耦合条件下的长线列长波红外探测器共面度评估模型.对共面度评估模型进行了误差分析,确定了其引进的误差在工程应用上可接受.使用共面度评估模型对焦面组件的结构进行了改进,通过有限元仿真和实物测试的方法对改进的有效性进行了验证.验证结果表明:结构改进后,当探测器工作时,光敏面平面度的变化量由改前的170 μm减少至10 μm,满足小于20 μm的设计要求.
文献关键词：
长线列;长波红外;焦面组件;共面度
中图分类号：
作者姓名：
马军
作者机构：
北京空间机电研究所,北京100094
文献出处：
引用格式：
[1]马军-.长线列长波红外探测器共面度评估模型)[J].红外与激光工程,2022(03):174-183
A类：
长线列,焦面组件
B类：
长波红外,红外探测器,共面度,受热,热应力,光敏,共焦,下探,有限元仿真,真确,层合板,板理论,误差分析,对焦,实物测试,结构改进,平面度,变化量
AB值：
0.179107
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