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MEMS高精度双轴倾角传感器的设计
文献摘要：
本文主要介绍了一种角度检测用MEMS双轴倾角传感器.采用MEMS加速度传感器测量倾角的原理进行应用开发,通过三维转台角度测试,其具有体积小、性能稳定、精度高等特点.
文献关键词：
MEMS双轴倾角传感器;硬件电路;精度
中图分类号：
作者姓名：
朱颖;周妤
作者机构：
西安创联科技(集团)有限责任公司,陕西西安,710065
文献出处：
引用格式：
[1]朱颖;周妤-.MEMS高精度双轴倾角传感器的设计)[J].电子制作,2022(01):3-4,30
A类：
B类：
MEMS,双轴倾角传感器,角度检测,加速度传感器,传感器测量,应用开发,转台,体积小,硬件电路
AB值：
0.245938
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