典型文献
基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计
文献摘要：
二氧化硫等含硫气体的红外吸收峰在7～10μm的波段,该波段正好与人体红外的波段重合,属于敏感区域,可用于军事应用,因此发达国家对我国实行了长期的技术封锁;特别是低硫的红外检测传感器价格昂贵,因此,开发检出限接近10 mg/L的高精度低硫传感器迫在眉睫.该文以煤燃烧后的含硫气体检测为研究对象,通过设计精密的红外气室、高精密的恒温室、微弱信号处理电路以及补偿电路,采用MEMS技术,设计完成了一款高精密的非分光红外低硫集成传感器.经检测,该传感器的检出限达到近10 mg/L.低硫测量平均值为0.382％,标准差(SD)为0.006％,相对标准偏差(RSD)为1.2％,瓶内相对标准偏差(RSD)为0.9％.实现了低硫的高精密测试.
文献关键词：
MEMS系统;红外吸收;低硫传感器;微弱信号处理
中图分类号：
作者姓名：
魏丽君
作者机构：
湖南铁道职业技术学院,湖南 株洲412001
文献出处：
引用格式：
[1]魏丽君-.基于MEMS的非分光红外低硫传感器研究与设计)[J].工业仪表与自动化装置,2022(03):3-7
A类：
低硫传感器,微弱信号处理
B类：
MEMS,非分光红外,研究与设计,二氧化硫,含硫,红外吸收,吸收峰,波段,正好,人体红外,敏感区域,于军,军事应用,技术封锁,红外检测,价格昂贵,检出限,煤燃烧,气体检测,外气,气室,高精密,恒温室,信号处理电路,经检测,相对标准偏差,RSD,瓶内
AB值：
0.28868
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