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氧气传感器加热器制备工艺研究
文献摘要：
氧化锆氧气传感器工作温度为700℃,加热器为传感器提供热量,是保证传感器稳定工作的基础.丝网印刷下浆料量是决定加热器铂电阻层厚度的关键因素,直接影响加热器印刷质量及电阻值.文章通过检测传感器加热器印刷前后PET膜湿重、干重的变化,研究了丝网参数和刮刀参数对加热器印刷的具体影响方式,得到了丝网目数、掩膜版厚度、线宽三个丝网参数,以及刮刀压力和刮刀行程这两项刮刀参数对印刷下浆料量的影响规律,为加热器电阻值精确控制及稳定制备提供了可靠依据.
文献关键词：
加热器;丝网印刷;下浆料量;刮刀参数
中图分类号：
作者姓名：
张志强;黄林然;赵振平;鲁耀;李哲辉
作者机构：
航空工业上海航空测控技术研究所,上海 201601;故障诊断与健康管理技术航空科技重点实验室,上海 201601
文献出处：
引用格式：
[1]张志强;黄林然;赵振平;鲁耀;李哲辉-.氧气传感器加热器制备工艺研究)[J].传感器世界,2022(11):7-11
A类：
下浆料量,刮刀参数,刮刀压力
B类：
氧气传感器,加热器,制备工艺,氧化锆,工作温度,供热量,丝网印刷,刷下,铂电阻,印刷质量,电阻值,PET,湿重,干重,具体影响,影响方式,网目,目数,掩膜,线宽,这两项,精确控制
AB值：
0.247138
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