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基于丝网印刷的柔性湿度传感器研究
文献摘要：
柔性是可穿戴类设备的基本属性,柔性湿度传感器可以用于检测皮肤湿度、呼吸频率等与人体健康密切相关的生理参数.为了满足丝网印刷的工艺需求,提出了一种银导电墨水的制备方案,分析了加热板、回流焊、马弗炉以及真空管式炉四种不同退火方式对银导电薄膜生长的影响,发现了加热板烧结后的银导线导电率高且成品阻值方差小.使用导电墨水制备电极,聚苯乙烯磺酸钠作为湿敏材料,在柔性衬底聚酰亚胺上印刷制备了平板式电容湿度传感器.该传感器在10％RH～90％RH湿度范围内可实现16.27 pF/％RH的灵敏度和1.65％RH的湿滞,具有良好的稳定性(最大误差0.22％).通过对导电墨水的制备和烧结方式的研究,利用丝网印刷工艺制备了电容式柔性湿度传感器,为柔性湿度传感领域提供了参考.
文献关键词：
湿度传感器;柔性;丝网印刷;银导电墨水
中图分类号：
作者姓名：
郭倩莹;王晓;吴佳糠;江世鹏;顾晓峰;梁峻阁
作者机构：
江南大学物联网技术应用教育部工程研究中心,江苏 无锡214122
文献出处：
引用格式：
[1]郭倩莹;王晓;吴佳糠;江世鹏;顾晓峰;梁峻阁-.基于丝网印刷的柔性湿度传感器研究)[J].传感技术学报,2022(12):1619-1625
A类：
B类：
丝网印刷,湿度传感器,可穿戴,基本属性,呼吸频率,人体健康,生理参数,足丝,银导电墨水,热板,回流焊,马弗炉,真空管,管式炉,退火,导电薄膜,薄膜生长,导线,导电率,阻值,备电,聚苯乙烯磺酸钠,湿敏材料,柔性衬底,聚酰亚胺,平板式,RH,pF,最大误差,烧结方式,印刷工艺,工艺制备,电容式
AB值：
0.311967
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