典型文献
基于光离子晶体纳米梁腔的机械系统设计及实验研究
文献摘要：
腔光与机械系统在耦合作用下引发的光离子灵敏度高,在高精度测量等前沿科技领域有广阔的应用前景.首先在纳米级别下将半导体晶体材料加工成梁腔结构,并用仿真分析的方法对其机械性能进行模拟分析,然后根据模拟分析结果对元器件尺寸进行调整并依据该尺寸制作元器件,最后应用仿真和实验的方法对元器件的机械性能进行了验证,分析了仿真结果与实验结果产生差异的原因.
文献关键词：
机械系统;仿真;实验
中图分类号：
作者姓名：
归文强;杜小运;王栋
作者机构：
西安航空学院车辆工程学院,陕西 西安 710077
文献出处：
引用格式：
[1]归文强;杜小运;王栋-.基于光离子晶体纳米梁腔的机械系统设计及实验研究)[J].机械设计与制造工程,2022(04):45-48
A类：
B类：
离子晶体,纳米梁腔,机械系统设计,耦合作用,灵敏度高,高精度测量,前沿科技,科技领域,纳米级,别下,半导体晶体,晶体材料,材料加工,机械性能,元器件,寸进,应用仿真
AB值：
0.370244
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