典型文献
超级结电场分布仿真分析
文献摘要：
为详细研究超级结体内独特的二维电场分布,通过Silvaco软件建立半导体超级结器件基本结构(超级结PiN),展开直观的定量仿真分析.在仿真中对漏极施加正向电压,得到电场分布图和包括电场峰值、谷值在内的多个特征点.通过连接特征点得到四类特征电场线,沿着各个特征电场线观察其电场变化,验证纵向电荷场对横向电荷场的调制作用.对传统超级结模型进行优化,添加N-缓冲层仿真出半超结P(或N)漂移区中心电场分布,并与传统结构进行对比.
文献关键词：
超级结器件;二维电场分布;特征点;特征电场线;半超结;Silvaco仿真
中图分类号：
作者姓名：
王卉如;揣荣岩;关艳霞
作者机构：
沈阳工业大学信息科学与工程学院,沈阳110870
文献出处：
引用格式：
[1]王卉如;揣荣岩;关艳霞-.超级结电场分布仿真分析)[J].微处理机,2022(01):1-4
A类：
二维电场分布,超级结器件,PiN,特征电场线,半超结
B类：
结体,Silvaco,基本结构,开直,真中,分布图,谷值,特征点,点得,四类,电荷,缓冲层,漂移区,心电
AB值：
0.185716
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