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弹载速调管微小漏孔的检测方法
文献摘要：
本文详细介绍了弹载速调管微小漏孔检测的方法和原理.首先明确了加压检测方法流程,对一些关键参数(如氦气存储压力、存储时间,器件内真空度表征方法等)进行了理论计算与分析,得出了具有指导意义的结果;然后对加压检测设备的主要组成部分进行了详细介绍;最后利用研制好的设备进行了弹载速调管的高压存储实验,结果表明该方法可以高效剔除不合格器件,达到了预期要求,客户反馈良好.
文献关键词：
速调管;微小漏孔;存储;加压检测
中图分类号：
作者姓名：
宋艳鹏;强博;韩永超;唐榕;张吉峰
作者机构：
北京真空电子科技有限公司,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]宋艳鹏;强博;韩永超;唐榕;张吉峰-.弹载速调管微小漏孔的检测方法)[J].真空,2022(04):18-21
A类：
微小漏孔,加压检测
B类：
弹载,速调管,孔检测,方法流程,氦气,存储时间,真空度,表征方法,计算与分析,检测设备,不合格
AB值：
0.244299
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