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化学气相沉积大尺寸多晶金刚石膜及其应用研究进展
文献摘要：
人工合成金刚石技术极大地推动了工业技术的进步,并有望进一步为科学技术的发展带来革命性的突破.本文介绍了人工合成金刚石技术,详细分析了几种主要化学气相沉积方法的技术特点、应用领域及发展现状.重点介绍了微波等离子体化学气相沉积大尺寸高品质光学级金刚石膜的发展和现状.最后,对大尺寸光学级金刚石膜在兆瓦级回旋管、高功率CO2激光器以及红外热成像等领域的应用进行了简单介绍.
文献关键词：
金刚石;化学气相沉积;微波等离子体化学气相沉积;金刚石光学窗口;高功率CO2激光器;红外热成像
中图分类号：
作者姓名：
李义锋;姜龙;安晓明;刘晓晨;张雅琳;仝婷婷;李文江;葛新岗;张平伟;郭辉;孙振路
作者机构：
河北普莱斯曼金刚石科技有限公司,河北石家庄050081;河北省激光研究所有限公司,河北石家庄050081
文献出处：
引用格式：
[1]李义锋;姜龙;安晓明;刘晓晨;张雅琳;仝婷婷;李文江;葛新岗;张平伟;郭辉;孙振路-.化学气相沉积大尺寸多晶金刚石膜及其应用研究进展)[J].真空电子技术,2022(05):1-12,19
A类：
金刚石光学窗口
B类：
大尺寸,多晶,金刚石膜,人工合成,工业技术,革命性,微波等离子体化学气相沉积,学级,兆瓦级,回旋管,高功率,激光器,红外热成像
AB值：
0.153208
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