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活化Mo-Mn法中低温烧成技术研究
文献摘要：
以降低活化Mo-Mn法烧成温度为目的,利用MnO-Al2O3-SiO2相图,设计了 17组金属化配方,通过拉力测试、X射线衍射物相分析、扫描电镜测试及能谱分析,研究了不同活化剂配方对金属化层力学性能及显微结构的影响.本试验成功将活化Mo-Mn法烧结温度降低至1350℃,得到的金属化层显微结构致密均匀,力学性能及气密性良好,其三点封接强度可达470 MPa,远超行业标准.
文献关键词：
活化Mo-Mn法;中低温;相图;活化剂;玻璃相
中图分类号：
作者姓名：
朴文博;李迎迎;黄亦工;崔高鹏
作者机构：
北京真空电子技术研究所,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]朴文博;李迎迎;黄亦工;崔高鹏-.活化Mo-Mn法中低温烧成技术研究)[J].真空电子技术,2022(01):61-66
A类：
B类：
Mo,中低温,低活化,烧成温度,MnO,Al2O3,SiO2,相图,金属化,拉力,物相分析,扫描电镜测试,能谱分析,活化剂,显微结构,烧结温度,气密性,其三,封接,玻璃相
AB值：
0.390434
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