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半球谐振子金属化镀膜残余应力的测量方法及影响因素研究
文献摘要：
半球谐振子金属化镀膜是半球谐振陀螺制造的重要工艺环节.镀膜过程所产生的薄膜残余应力对谐振子Q值有较大影响,决定着半球谐振陀螺零偏稳定性等最终性能.本文采用X射线衍射法测量薄膜残余应力,研究了镀膜工艺参数和膜层厚度对残余应力的影响,结果表明:薄膜残余应力均呈压应力状态;随着沉积速率的增大,薄膜应力先增大后减小,有转化为拉应力的趋势;随着膜层厚度的增加,薄膜应力先略微减小再增大;基底温度对残余应力的影响无明显规律.本文的研究对薄膜残余应力与谐振子Q值关系模型的建立具有重要指导意义.
文献关键词：
残余应力;工艺参数;金属化镀膜;半球谐振子
中图分类号：
作者姓名：
朱蓓蓓;刘青;秦琳;楚建宁;陈肖;汪学方;许剑锋
作者机构：
上海航天控制技术研究所,上海 201109;华中科技大学,机械科学与工程学院,湖北 武汉 430074
文献出处：
引用格式：
[1]朱蓓蓓;刘青;秦琳;楚建宁;陈肖;汪学方;许剑锋-.半球谐振子金属化镀膜残余应力的测量方法及影响因素研究)[J].真空,2022(02):55-61
A类：
金属化镀膜
B类：
半球谐振子,子金,残余应力,半球谐振陀螺,零偏稳定性,衍射法,镀膜工艺,膜层厚度,压应力,应力状态,沉积速率,薄膜应力,拉应力,略微,基底温度,关系模型
AB值：
0.197926
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