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金纳米阵列诱导表面等离子体微刻蚀试验分析
文献摘要：
通过麦克斯韦方程组推导了等离子体激发的条件,随后根据表面等离激元在亚波长孔周期阵列中增强光传输的原理制备金属-介质-金属(MIM)型周期性孔阵列薄膜,这种薄膜结构可补充入射光与等离子体基元间的动量失衡,进而在金属表面成功实现表面等离子体的激发.最后利用所制备的MIM型周期性孔阵列结构进行激光微纳加工试验,探索其在激光微纳加工中的作用.选择单晶硅作为激光微纳加工的对象,试验结果表明,这种薄膜结构可通过诱导激发等离子体实现材料的去除,在硅片的表面制备出大范围的微孔结构.
文献关键词：
金属-介质-金属型结构;等离子体激发;透射增强;周期性孔阵列;多孔阳极氧化铝;激光扫描
中图分类号：
作者姓名：
杨嫄;聂溪晗;缪文锋;赵静楠;郭志全
作者机构：
天津科技大学机械工程学院,天津300222;天津市轻工与食品工程机械装备集成设计与在线监控重点实验室,天津300222
文献出处：
引用格式：
[1]杨嫄;聂溪晗;缪文锋;赵静楠;郭志全-.金纳米阵列诱导表面等离子体微刻蚀试验分析)[J].应用激光,2022(09):74-81
A类：
周期性孔阵列,透射增强
B类：
金纳米,纳米阵列,表面等离子体,刻蚀,试验分析,麦克斯韦方程组,等离子体激发,表面等离激元,亚波长,强光,光传输,MIM,薄膜结构,入射光,基元,金属表面,阵列结构,激光微纳加工,单晶硅,硅片,表面制备,微孔结构,金属型,多孔阳极氧化铝,激光扫描
AB值：
0.292633
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