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超快激光加工二氧化钛微纳结构及功能器件研究进展
文献摘要：
二氧化钛兼具优异的光化学性质和光学性质,被广泛应用于能源材料、光学信息等领域的微纳功能器件中.二氧化钛的微纳加工与成形技术是二氧化钛微纳功能器件制备的关键技术基础.超快激光由于具有超短脉宽和超高能量峰值等特性而成为理想的微纳制造工具之一,近年来在二氧化钛的微纳加工领域中得到了广泛的关注.综述了超快激光加工二氧化钛微纳结构及功能器件的研究进展,包括二氧化钛的性质及应用、超快激光与二氧化钛的作用机理、二氧化钛微纳结构的超快激光加工技术,介绍了利用这些技术加工的二氧化钛光解水制氢器件、图案化结构色器件和光学加密器件等微纳功能器件,并对超快激光微纳加工技术在二氧化钛微纳结构及功能器件加工领域中的应用前景进行了展望.
文献关键词：
激光技术;二氧化钛;微纳结构;功能器件;超快激光;微纳制造
中图分类号：
作者姓名：
乔明;闫剑锋;俞嘉晨;李佳群;曲良体
作者机构：
清华大学机械工程系,北京 100084;摩擦学国家重点实验室,北京 100084;清华大学化学系,北京 100084
文献出处：
引用格式：
[1]乔明;闫剑锋;俞嘉晨;李佳群;曲良体-.超快激光加工二氧化钛微纳结构及功能器件研究进展)[J].中国激光,2022(22):22-33
A类：
B类：
超快激光加工,二氧化钛,微纳结构,结构及功能,功能器件,光化学性质,光学性质,能源材料,成形技术,器件制备,技术基础,超短,脉宽,高能量,能量峰,微纳制造,激光加工技术,光解水制氢,图案化结构,结构色,光学加密,加密器,激光微纳加工,微纳加工技术,激光技术
AB值：
0.237433
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