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基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法
文献摘要：
在基于Zygo干涉仪的非球面检测中,沿光轴(Z轴)方向的定位精度直接影响测量结果的准确性.本文提出了一种基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法,分析了非球面与参考球面波的理论模型,推导出了对应的最佳参考球面波半径、顶点偏离量以及理论测量位置,并在此基础上完成了沿Z轴方向0.001 mm精度范围内的定位过程.该方法可将被测非球面定位至理论测量位置,有效地降低由于定位误差造成的测量误差;准确找到参考球面波半径,对基于Zygo干涉仪的点云重构和拼接方法也具有重要意义.对一直径为108 mm的非球面镜进行了实验验证,定位后的结果与最佳参考球面波的点云数据计算结果对比,结果接近,证明了定位方法的正确性;并与零位检测结果相比,PV值残差为0.047λ,RMS残差为0.019λ,进一步证明了该定位方法的准确性.
文献关键词：
非球面检测;干涉测量;Z轴定位;最小PV值
中图分类号：
作者姓名：
兰梦辉;李兵;魏翔;吴修远;刘晓
作者机构：
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049;西安交通大学微纳制造与测试技术国际合作联合实验室 西安 710049;西安交通大学苏州研究院 苏州 215123
文献出处：
引用格式：
[1]兰梦辉;李兵;魏翔;吴修远;刘晓-.基于最小PV值的非球面测量Z轴定位方法)[J].仪器仪表学报,2022(06):29-37
A类：
B类：
PV,定位方法,Zygo,干涉仪,非球面检测,光轴,定位精度,球面波,顶点,偏离量,定位误差,测量误差,点云重构,拼接方法,球面镜,点云数据,数据计算,结果对比,零位检测,RMS,干涉测量
AB值：
0.313004
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