典型文献
热电式MEMS微波功率传感器的优化设计
文献摘要：
为了提高热电式微波功率传感器的传热效率,改善传感器的性能,对热电式微波功率传感器的衬底结构进行了优化设计,得到了最优的衬底结构尺寸.首先研究衬底厚度对热电式微波功率传感器的影响,然后根据得到的最优衬底厚度,研究基底膜位置及尺寸对热电式微波功率传感器性能的影响,最后对所得最优衬底结构传感器的微波特性以及电磁场分布进行研究.结果表明,当传感器衬底的结构尺寸最优时,传感器的最高温度达到352.76 K,S参数小于-20.62 dB.该结构不仅减少了热量在衬底的堆积,提高了负载电阻到热电堆的热传输效率,而且具有良好的微波特性.
文献关键词：
热电式;功率传感器;MEMS;基底膜
中图分类号：
作者姓名：
任青颖;于文婷;王德波
作者机构：
南京邮电大学集成电路科学与工程学院,南京210023
文献出处：
引用格式：
[1]任青颖;于文婷;王德波-.热电式MEMS微波功率传感器的优化设计)[J].微电子学,2022(06):1071-1075
A类：
B类：
热电式,MEMS,微波功率传感器,高热,式微,传热效率,衬底,结构尺寸,先研,基底膜,传感器性能,波特,电磁场分布,最高温度,dB,负载电阻,热电堆,热传输,传输效率
AB值：
0.211598
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