典型文献
Ka波段开关线型MEMS移相器的设计与研究
文献摘要：
面向现代通信及相控阵雷达领域的需求,设计了一种移相间隔为22.5°的Ka波段4位开关线型射频MEMS移相器.主要对实现移相功能的四个移相单元进行了设计,采用台阶补偿技术优化移相单元上下通路分工选通,以提供最佳的阻抗匹配;采用直角转角结构,设计了可提高CPW直角性能的延迟线,并对应用该延迟线的4位开关线型移相器进行了总体设计.用HFSS进行建模仿真,结果表明,在0～40 GHz工作频段内,16个状态的插入损耗均小于2.15 dB,回波损耗均大于19.18 dB,驻波比均小于1.25,在40 GHz频点处的相移误差在1.57°以内,整体尺寸为10 mm2.
文献关键词：
移相器;MEMS;高精度;小体积;直角转角
中图分类号：
作者姓名：
吴倩楠;范丽娜;侯文;李孟委
作者机构：
中北大学前沿交叉科学研究院,太原030051;中北大学理学院,太原030051;中北大学微系统集成研究中心,太原030051;中北大学信息与通信工程学院,太原030051
文献出处：
引用格式：
[1]吴倩楠;范丽娜;侯文;李孟委-.Ka波段开关线型MEMS移相器的设计与研究)[J].微电子学,2022(03):492-497
A类：
直角转角
B类：
Ka,波段,开关线,线型,MEMS,移相器,设计与研究,面向现代,现代通信,相控阵雷达,相间,补偿技术,技术优化,阻抗匹配,CPW,延迟线,总体设计,HFSS,建模仿真,GHz,频段,插入损耗,dB,回波损耗,驻波比,频点,相移误差,体尺,mm2,小体积
AB值：
0.376555
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