典型文献
瞬态双界面结壳热阻测量方法的误差分析
文献摘要：
重点分析了瞬态热阻测试方法的原理及最新进展,并针对微电子元器件各工艺过程中"热阻"参数测量准确性、一致性差的问题,对基于热瞬态方法的热阻测试技术进行了误差分析.
文献关键词：
热阻;半导体器件;温度敏感参数;降温曲线
中图分类号：
作者姓名：
赵丽;翟玉卫;李灏;吴爱华;范雅洁;李茹
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所
文献出处：
引用格式：
[1]赵丽;翟玉卫;李灏;吴爱华;范雅洁;李茹-.瞬态双界面结壳热阻测量方法的误差分析)[J].上海计量测试,2022(03):37-39,44
A类：
温度敏感参数
B类：
结壳热阻,误差分析,热阻测试,最新进展,微电子,电子元器件,工艺过程,参数测量,测量准确性,瞬态方法,测试技术,半导体器件,降温曲线
AB值：
0.396282
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
