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基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NOx浓度测量
文献摘要：
高纯气体在半导体器件制作及燃料电池等行业应用广泛,但其杂质气体直接对加工精度及效果产生显著影响,因此对关键痕量杂质气体进行浓度诊断尤为必要.本文基于化学发光光谱理论和氮氧化物催化转化机理,设计了一套痕量NO/NOx同步高精度测量系统,通过标定实验可知,该测量系统具有高线性度(R2=0.99967)、高灵敏度、低检测下限(约25 ppt,1 ppt=10–12)、易操作性等优势;同时,综合考虑不同背景气体对荧光、磷光的淬灭效应,建立不同高纯气体中NOx测量方法,并利用该探测系统对实验室常用4种高纯气体(Ar,O2,CO2,N2)中ppb量级的氮氧化物进行测量,结果表示CO2中的NO含量最高,约为9 ppb(1 ppb=10–9),其他高纯气体中的NO含量较低,仅有0?4 p p b,4种高纯气体的NO2含量均较低(<6 ppb);最后结合气体制备及提纯方式对高纯气体中杂质NOx含量进行评价及分析,旨在为燃料电池、半导体器件制备等尖端科技领域提供可靠的杂质气体成分诊断方法和数据基础.
文献关键词：
化学发光;高纯气体;痕量气体;淬灭
中图分类号：
作者姓名：
张猛;彭志敏;杨乾锁;丁艳军;杜艳君
作者机构：
华北电力大学控制与计算机工程学院, 北京 102206;中国科学院大学工程科学学院, 北京 100049;中国科学院力学研究所, 流固耦合系统力学重点实验室, 北京 100190;清华大学能源与动力工程系, 电力系统与发电设备控制与仿真国家重点实验室, 北京 100084
文献出处：
引用格式：
[1]张猛;彭志敏;杨乾锁;丁艳军;杜艳君-.基于化学发光法的高纯气体中ppb量级NOx浓度测量)[J].物理学报,2022(13):368-376
A类：
B类：
化学发光法,高纯气体,ppb,NOx,浓度测量,半导体器件,燃料电池,行业应用,杂质气体,加工精度,痕量杂质,发光光谱,谱理论,氮氧化物,催化转化,转化机理,高精度测量,测量系统,标定实验,高线性度,高灵敏度,检测下限,ppt,景气,磷光,淬灭,探测系统,Ar,N2,NO2,提纯方式,器件制备,尖端科技,科技领域,气体成分,分诊,数据基础,痕量气体
AB值：
0.311246
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