典型文献
大量程光谱共焦位移传感器设计及性能评估
文献摘要：
现有的光谱共焦色散物镜存在测量量程小的问题，在工业检测中的应用受到较大的限制。针对这一问题，采用四片球面透镜设计了一种大量程的色散物镜，在500～700 nm波段内，测量量程达到9.962 mm。在大色差的情况下对球差进行了优化，并利用设计的色散物镜搭建了光谱共焦位移测量系统，开展了性能评估实验。实验结果表明，系统实现了10 mm的测量范围，测量标准差为0.5 μm，平均绝对误差为0.6 μm。另外，对不同材料的样品进行了测量，结果表明，系统对不同材料样品具有一定的适应性。该设计实现了较大的测量范围，可以满足各类复杂对象的工业检测需求。
文献关键词：
测量;无损检测;位移传感器;光谱共焦;色散;measurement;nondestructive inspection;displacement sensor;chromatic confocal;dispersion
中图分类号：
作者姓名：
邵谭彬;郭文平;席英皓;刘子聿;杨克成;夏珉
作者机构：
华中科技大学光学与电子信息学院，湖北 武汉 430074
文献出处：
引用格式：
[1]邵谭彬;郭文平;席英皓;刘子聿;杨克成;夏珉-.大量程光谱共焦位移传感器设计及性能评估)[J].中国激光,2022(18):1804002
A类：
B类：
大量程,光谱共焦,位移传感器,传感器设计,性能评估,色散,物镜,测量量程,工业检测,四片,球面透镜,波段,色差,球差,位移测量系统,系统实现,测量范围,测量标准,平均绝对误差,不同材料,设计实现,无损检测,measurement,nondestructive,inspection,displacement,sensor,chromatic,confocal,dispersion
AB值：
0.430096
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