典型文献
基于Hybrid方法的薄膜电阻率与透光率高通量检测系统设计研究
文献摘要：
为解决半导体薄膜材料研发制造过程中测试任务繁重的问题,研制了基于Hybrid方法的薄膜材料光学性能和电学性能高通量测试分析系统.系统应用于半导体薄膜样品的自动化批量表征,集成化检测样品的电阻率与透光率,综合分析测试结果,实现样品的择优筛选.设计搭建了LabVIEW上位机控制系统、Arduino UNO下位机控制系统、Keithley 2400电阻率测试组件、Ocean optics HR2000透光率测试组件、CCM XY轴平移滑台模组和双Z轴升降滑台模组.通过下位机控制系统对平移滑台和升降滑台的精密运动控制,电阻率探头与透光率探头依次下降,循环采集样品阵列的方阻值和透光率数据,将数据上传至上位机控制系统完成分析和可视化.经实验验证,本研究完成了对薄膜样品阵列的电阻率与透光率的自动化批量检测,最大检测效率为256个/批次,透光率响应波段为200nm～1100nm,方阻测试电压范围为1μV～211V.该系统满足科研人员对半导体薄膜材料的自动化测试需求,提高了新半导体材料研究中大数据分析筛选的能力,为半导体薄膜高通量综合表征提供了新方法.
文献关键词：
半导体薄膜;高通量检测;电阻率;透光率;综合分析
中图分类号：
作者姓名：
任俊;刘禹;廖成;何绪林;孙如昊
作者机构：
江南大学 机械工程学院,无锡 214122;中物院成都科学技术发展中心,成都 610200
文献出处：
引用格式：
[1]任俊;刘禹;廖成;何绪林;孙如昊-.基于Hybrid方法的薄膜电阻率与透光率高通量检测系统设计研究)[J].制造业自动化,2022(10):34-37
A类：
Keithley,HR2000,1100nm,211V
B类：
Hybrid,薄膜电阻,电阻率,透光率,高通量检测,系统设计研究,半导体薄膜,薄膜材料,材料研发,研发制造,制造过程,测试任务,繁重,光学性能,电学性能,测试分析,系统应用,集成化,检测样品,分析测试,择优,LabVIEW,上位机,Arduino,UNO,下位机,Ocean,optics,CCM,XY,平移,滑台,模组,升降,运动控制,探头,方阻,阻值,数据上传,批量检测,检测效率,波段,200nm,测试电压,科研人员,自动化测试,测试需求,半导体材料,材料研究,综合表征
AB值：
0.337469
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