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浅谈半导体级多晶硅关键接触材料的选择
文献摘要：
8寸及以上晶圆用原生半导体级多晶硅料对产品质量要求极高,在硅料生产过程中,与硅料接触的材料是产品质量失效模式的主要影响因素之一,因此,对许多关键材料的选择十分重要.本文主要从半导体级多晶硅生产过程中的原料接触材料、产品接触材料分析其潜在风险及最优的材料选择.
文献关键词：
半导体级多晶硅;材料;选择
中图分类号：
作者姓名：
陈远新;于跃;杨亮
作者机构：
内蒙古大全新能源有限公司,内蒙古 包头 014000
文献出处：
引用格式：
[1]陈远新;于跃;杨亮-.浅谈半导体级多晶硅关键接触材料的选择)[J].中国设备工程,2022(23):118-119
A类：
半导体级多晶硅
B类：
接触材料,晶圆,硅料,质量要求,失效模式,关键材料,多晶硅生产,材料分析,潜在风险,材料选择
AB值：
0.20957
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