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电子厂房工艺循环冷却水系统分析与优化
文献摘要：
随着半导体器件设备、电子元件及电子专用材料制造投资额的大幅度增长,为满足生产需求,电子厂房需求也随之增加,而大部分电子厂房设计要求配备工艺循环冷却水系统.文章对工艺循环冷却水系统进行分析,并以某电子厂房工艺循环冷却水设计为例进行思路梳理,通过对工艺循环冷却水的工作原理、系统组成、系统特点及系统模式选择等内容的介绍与项目经验的总结,以期为工艺循环冷却水系统设计提供参考.
文献关键词：
电子厂房;工艺循环冷却水系统;开式系统;闭式系统
中图分类号：
作者姓名：
李佳霖
作者机构：
信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司青岛分公司,山东 青岛 266000
文献出处：
引用格式：
[1]李佳霖-.电子厂房工艺循环冷却水系统分析与优化)[J].造纸装备及材料,2022(01):25-27,40
A类：
工艺循环冷却水系统
B类：
电子厂房,半导体器件,电子元件,用材,材料制造,投资额,度增长,厂房设计,系统组成,系统特点,系统模式,模式选择,项目经验,开式系统,闭式系统
AB值：
0.156771
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