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配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析
文献摘要：
光伏产业的发展使得对硅材料的需求日益增加,同时硅单晶生产行业竞争也日趋激烈.作为生产硅单晶的重要装备,单晶炉的稳定性和可靠性关系到硅单晶生产效率的提升和成本的下降,因此其驱动系统的设计和优化成为装备制造的关键环节.本文以NVT-HG2000-V1型硅单晶生长炉的驱动系统为研究对象,用SolidWorks三维建模实现虚拟装配,采用ADAMS建立其动力学仿真模型,并对驱动系统的运动过程进行仿真模拟.采用控制变量法定量分析了铜套与升降轴的配合间隙及丝杠参数对驱动力和驱动力矩的影响规律,进而在提高硅单晶生长炉装备稳定性和可靠性方面给出合理的技术建议.结果表明,铜套与升降轴的配合间隙达到0.071 mm后能有效降低驱动系统运行所需驱动力矩,丝杠倾斜度、螺纹螺距与螺纹间摩擦系数的增大均会导致驱动系统运行所需力矩大幅增加.
文献关键词：
硅单晶;单晶炉;驱动系统;配合间隙;丝杠;仿真模拟
中图分类号：
作者姓名：
黄鸣;王维
作者机构：
北京北方华创真空技术有限公司,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]黄鸣;王维-.配合参数对单晶炉驱动系统的影响分析)[J].人工晶体学报,2022(04):594-599,605
A类：
HG2000
B类：
单晶炉,驱动系统,光伏产业,硅材料,硅单晶,行业竞争,日趋激烈,设计和优化,装备制造,NVT,V1,单晶生长,SolidWorks,三维建模,虚拟装配,ADAMS,动力学仿真模型,仿真模拟,控制变量法,铜套,升降,配合间隙,丝杠,驱动力矩,高硅,技术建议,倾斜度,螺纹螺距,摩擦系数
AB值：
0.298081
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