典型文献
线切蓝宝石晶片面形质量评价方法的试验研究
文献摘要:
多线切割广泛应用于硬脆材料的切片加工,线切后晶片的面形质量会对后续研磨抛光加工工艺产生较大影响.提出了一种针对线切片面形质量的评价指标:线切片最小加工余量(MMA);设计出MMA的测量原理,并给出具体实施方法;分析了不同工艺参数下线网不同位置处MMA的变化规律.试验结果表明,提出的评价指标能够更好地反映线切加工工艺参数对晶片面形质量的影响规律.
文献关键词:
多线切割;晶片;面形质量;最小加工余量
中图分类号:
作者姓名:
王兰青;黄辉;崔长彩
作者机构:
华侨大学制造工程研究院,厦门,361021
文献出处:
引用格式:
[1]王兰青;黄辉;崔长彩-.线切蓝宝石晶片面形质量评价方法的试验研究)[J].中国机械工程,2022(17):2023-2028
A类:
最小加工余量
B类:
蓝宝石,晶片,面形质量,质量评价方法,多线切割,硬脆材料,研磨抛光,加工工艺,MMA,测量原理,实施方法,不同工艺,下线,线网,不同位置
AB值:
0.222271
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