典型文献
光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试
文献摘要：
针对高温环境下压力参数的原位测试需求,基于碳化硅(SiC)材料优异的耐高温特性,研制了一种光纤法珀式全SiC结构耐高温压力传感器.采用超声振动铣磨的加工方法制备了表面粗糙度Ra约11.9 nm的SiC传感膜片.利用SiC晶片氢氟酸辅助直接键合技术,实现SiC传感膜片与SiC基板的高强度气密性键合.搭建了高温压力测试系统,对制备的SiC耐高温压力传感器样机进行了高温环境下的性能测试.结果表明,该传感器能够实现600℃高温环境下0～4 MPa范围内的压力测量;600℃下传感器的压力灵敏度达到104.42 nm/MPa,具有较高的线性度,R2>0.99.
文献关键词：
压力传感器;碳化硅;法珀干涉;超声加工;直接键合
中图分类号：
作者姓名：
盛天宇;李健;李鸿昌;蒋永刚
作者机构：
北京航空航天大学仿生与微纳系统研究所,北京,100191
文献出处：
引用格式：
[1]盛天宇;李健;李鸿昌;蒋永刚-.光纤法珀式SiC耐高温压力传感器的制造与测试)[J].中国机械工程,2022(15):1803-1809
A类：
B类：
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AB值：
0.336693
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