典型文献
Fe3O4特性对单晶SiC固相芬顿反应研磨丸片性能的影响
文献摘要：
为提高单晶SiC研磨加工质量和加工效率,制备固相芬顿反应研磨丸片,研究固相催化剂Fe3O4特性(粒径和质量分数)对研磨丸片的硬度、抗弯强度、气孔率、催化性能及其对单晶SiC研磨加工性能的影响.结果表明:随着Fe3O4粒径的增大,丸片的硬度和抗弯强度减小、气孔率增大、催化性能减弱,材料去除率MMRR从43.12 nm/min降到36.82 nm/min,表面粗糙度Ra从1.06 nm增大到3.72 nm.随着Fe3O4质量分数的增大,丸片的硬度和抗弯强度减小、气孔率增大、催化性能增强,MMRR从40.14 nm/min降到33.51 nm/min,表面粗糙度Ra先减小后增大,分别为3.25 nm、1.75 nm和1.88 nm.
文献关键词：
Fe3O4特性;固相芬顿反应研磨丸片;单晶SiC;研磨加工
中图分类号：
作者姓名：
路家斌;曹纪阳;邓家云;阎秋生;胡达
作者机构：
广东工业大学 机电工程学院, 广州 510006
文献出处：
引用格式：
[1]路家斌;曹纪阳;邓家云;阎秋生;胡达-.Fe3O4特性对单晶SiC固相芬顿反应研磨丸片性能的影响)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(02):223-232
A类：
固相芬顿反应研磨丸片,MMRR
B类：
Fe3O4,单晶,SiC,研磨加工,加工质量,加工效率,固相催化剂,抗弯强度,气孔率,催化性能,加工性能,材料去除率,表面粗糙度,Ra,性能增强,先减
AB值：
0.170401
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