典型文献
计算机辅助光学偏折测量技术研究进展
文献摘要：
光学偏折测量技术作为高精度的非接触式测量方式,可在不损伤被测元件表面的同时,具有较高的空间分辨率和较大的测量动态范围.光学偏折测量系统结构简单,在现今越来越注重高精度、高效率和高通用性的光学复杂自由曲面测量领域中有较好的应用前景.首先,回顾了近年来的复杂曲面测量方法,并分析其测量特点.然后,着重介绍了采用计算机辅助的光学偏折测量技术及其系统关键性能参数.接着,对光学偏折测量所涉及的测量模型的建立、结构误差的校正、相位的获取和曲面的重构等关键技术的研究进展进行了讨论.最后,总结了基于计算机辅助的光学偏折测量技术的几种典型应用.
文献关键词：
测量;光学偏折术;光学检测;大动态范围;计算机辅助测量
中图分类号：
作者姓名：
吴振东;王道档;阮旸;梁荣光
作者机构：
中国计量大学计量测试工程学院,浙江杭州310018;亚利桑那大学光学科学学院,亚利桑那图森85721
文献出处：
引用格式：
[1]吴振东;王道档;阮旸;梁荣光-.计算机辅助光学偏折测量技术研究进展)[J].光学学报,2022(17):165-180
A类：
偏折测量技术,光学偏折术
B类：
辅助光,测量技术研究,非接触式测量,测量方式,空间分辨率,测量系统,系统结构,结构简单,通用性,自由曲面测量,复杂曲面,关键性能参数,测量模型,结构误差,典型应用,光学检测,大动态范围,计算机辅助测量
AB值：
0.256474
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