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氢等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响
文献摘要：
研究不同时间氢等离子体处理(HPT)氢化非晶硅a-Si:H(i)钝化层对高效晶硅异质结太阳电池(效率>23％)性能的影响.发现适当时间的HPT可改善钝化效果提升电池性能,但过长时间的HPT可导致薄膜钝化效果变差,有效少数载流子寿命降低.分析认为HPT时间过长,H原子进入到a-Si:H(i)薄膜层中,导致薄膜内部SiH2增多,微结构因子(R)增大,薄膜质量变差.并且,适当时间的HPT改善太阳电池性能的幅度有限,而过长时间的HPT导致电池性能下降却很明显.因此,针对高效率的晶硅异质结太阳电池,应对钝化层沉积之后的HPT工艺进行谨慎控制.
文献关键词：
晶硅异质结;太阳电池;PECVD;氢等离子体处理;钝化
中图分类号：
作者姓名：
刘欢;由甲川;赵雷;王文静;曲铭浩;徐希翔
作者机构：
中国科学院太阳能热利用及光伏系统重点实验室,中国科学院电工研究所,北京 100190;中国科学院大学,北京 100049;洁净能源国家实验室,大连 116023;汉能薄膜发电集团成都研发中心,成都 610200
文献出处：
引用格式：
[1]刘欢;由甲川;赵雷;王文静;曲铭浩;徐希翔-.氢等离子体处理钝化层对高效晶硅异质结太阳电池性能的影响)[J].太阳能学报,2022(07):140-144
A类：
氢等离子体处理,晶硅异质结,硅异质结太阳电池,SiH2
B类：
钝化层,电池性能,HPT,氢化,非晶硅,钝化效果,效果提升,少数载流子寿命,膜层,结构因子,薄膜质量,而过,致电,性能下降,PECVD
AB值：
0.131669
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