典型文献
降低m-CVDZnS多晶残余应力的带压退火研究
文献摘要：
硫化锌(ZnS)具有较高的红外透过率及良好的力学、热学和光学等综合性能,经热等静压透明化处理后得到的多光谱硫化锌(m-CVDZnS)透射范围更宽(0.3～13μm),满足复合制导的需求,是红外双波段飞行器观察窗口和头罩的关键材料.而m-CVDZnS多晶中的残余应力直接影响窗口和头罩的光学均匀性和光学成像质量.本工作在热等静压设备中对CVDZnS多晶样品进行原位退火,采用的保护气体Ar气达到热等静压高温恒温所需压力后,退火过程不再进行充压或泄压(带压退火).退火样品为多个尺寸约120 mm×165 mm×10.2 mm的m-CVDZnS多晶抛光样品,典型带压退火的优化工艺如下:高温退火条件采用990℃/150 MPa,结合600℃恒温和慢降温至室温退火.样品应力双折射测量结果表明,带压退火处理使残余应力明显减小,应力双折射平均值从12～13 nm/cm减少到3～5 nm/cm,降幅约100％;退火处理后应力分布均匀性明显提高.
文献关键词：
硫化锌多晶;残余应力;应力双折射;带压退火
中图分类号：
作者姓名：
周杰明;黎建明;李冬旭;赵永田;杨海;魏乃光
作者机构：
北京有色金属研究总院,北京100088;北京有色金属研究总院有研国晶辉新材料有限公司,河北 三河065201
文献出处：
引用格式：
[1]周杰明;黎建明;李冬旭;赵永田;杨海;魏乃光-.降低m-CVDZnS多晶残余应力的带压退火研究)[J].材料导报,2022(08):72-75
A类：
CVDZnS,带压退火,等静压设备,硫化锌多晶
B类：
残余应力,红外透过率,热学,热等静压,透明化,多光谱,复合制导,红外双波段,飞行器,观察窗,头罩,关键材料,光学成像,成像质量,原位退火,保护气体,Ar,恒温,充压,泄压,抛光,优化工艺,高温退火,退火条件,应力双折射,退火处理,应力分布均匀性
AB值：
0.242898
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
