典型文献
单晶硅长晶炉用钨钼制品的质量控制
文献摘要：
单晶硅长晶炉一般采用石墨材料作为容器、隔热屏和加热器,但是石墨材料容易产生挥发性杂质,影响单晶硅的纯度要求,另外石墨碎裂、脱落也会引起热场损坏.因此,有必要采用光亮钼片制作的导流筒和保温盖封闭石墨材料,同时光亮钼片的热辐射作用也增强了长晶炉上部的温度梯度,有利于加快长晶速度.在大直径单晶硅的发展趋势下,钨丝绳由于其更高的强度而代替了钢丝绳,但是钨在常温下是脆性材料,因此在使用过程中要注意防止硬物撞击受伤失效.钼重锤起到连接籽晶夹和钨丝绳的作用,钼重锤比钢重锤具有更高的强度,同时也不会给单晶硅晶体带去杂质污染.为了保证钨丝绳与钼重锤在长晶过程中始终保持在同一轴线,可以采用半球型重锤本体,钨丝绳的球形柱头与重锤形成面面接触配合,实时自动找心,有效降低了由于重心轴线偏移而产生晶体晃动的风险,大幅提升单晶硅棒的品质.
文献关键词：
单晶硅;长晶炉;钨;钼
中图分类号：
作者姓名：
廖彬彬
作者机构：
中钨稀有金属新材料(湖南)有限公司,湖南长沙410200
文献出处：
引用格式：
[1]廖彬彬-.单晶硅长晶炉用钨钼制品的质量控制)[J].硬质合金,2022(01):63-68
A类：
长晶炉
B类：
单晶硅,钨钼,石墨材料,隔热屏,加热器,挥发性,石墨碎,碎裂,热场,光亮,导流筒,保温盖,时光,热辐射,辐射作用,温度梯度,大直径,钨丝,钢丝绳,常温下,脆性材料,硬物,撞击,受伤,重锤,籽晶,硅晶体,带去,始终保持,半球型,柱头,心轴,轴线偏移,晃动
AB值：
0.353519
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