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低气压下N型晶硅太阳电池P型发射极的两步扩散法制备研究
文献摘要：
太阳能电池是人类使用清洁能源的重要组成部分,在"碳达峰与碳中和"国际政策背景下,大力发展清洁能源技术,是解决能源环境问题的根本性途径.N型太阳能电池具有杂质容忍度大、少子寿命长等优点,更有益于提高电池转换效率和降低生产成本,是高效晶硅太阳能电池发展的主流.然而,硼原子的分凝系数远高于磷原子,使得硼扩散工艺十分困难.基于此,本工作采用两步扩散法,研究低气压下气体流量、预沉积时间、再分布时间等工艺参数对P型发射极方阻和均匀性的影响.通过对硼扩散后N型电池的少子寿命衰减的物理机制进行深入剖析,对所制备N型电池的性能进行表征.最终,在优化工艺的条件下,实现了P发射极的方阻不均匀性不高于4％的有效改善.本研究可为高效N型电池的制备提供重要的技术参考.
文献关键词：
N;型晶硅电池;P;型发射极;两步扩散法
中图分类号：
作者姓名：
马晓波;曹志杰;沈宏君;樊凯;康欣欣;米金辉
作者机构：
宁夏大学物理与电子电气工程学院,银川750021
文献出处：
引用格式：
[1]马晓波;曹志杰;沈宏君;樊凯;康欣欣;米金辉-.低气压下N型晶硅太阳电池P型发射极的两步扩散法制备研究)[J].材料导报,2022(22):185-189
A类：
型发射极,两步扩散法,型晶硅电池
B类：
低气压,太阳电池,碳达峰与碳中和,政策背景,清洁能源技术,能源环境,容忍度,少子寿命,寿命长,有益于,转换效率,降低生产成本,晶硅太阳能电池,硼扩散,扩散工艺,十分困难,下气,气体流量,预沉积,沉积时间,再分布,方阻,寿命衰减,物理机制,优化工艺,不均匀性
AB值：
0.28369
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