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光谱共焦测量技术综述
文献摘要：
测量技术正不断向着精密化、智能化、集成化的方向发展,具有代表性的光谱共焦测量技术是在激光共焦显微技术的基础上发展而来,利用色散原理和光谱仪解码分析实现高精度测量.光谱共焦测量技术可进行位移测量、三维重建、表面粗糙度检测和厚度检测,具有无接触、高效率、在线测量等优点,在精密测量中发挥着重要作用,被广泛应用于微电子、工程材料、生物医学和航空航天等领域.近年来,光谱共焦系统在光学系统结构、光学镜头设计、光源优化和数据处理算法等各个方面取得了重大进展.文章对光谱共焦测量技术进行综述,论述了光谱共焦测量技术相较于其他测量方法的优势,综述了光谱共焦技术的测量原理、发展历程与应用进展,并对光谱共焦测量技术的发展趋势进行了展望.
文献关键词：
光谱共焦显微术;激光共焦扫描显微术;微纳测量;精密测量
中图分类号：
作者姓名：
王梓;石俊凯;陈晓梅;姜行健;李冠楠;霍树春;高超;朱强;周维虎
作者机构：
中国科学院微电子研究所光电技术研发中心,北京100029;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]王梓;石俊凯;陈晓梅;姜行健;李冠楠;霍树春;高超;朱强;周维虎-.光谱共焦测量技术综述)[J].半导体光电,2022(04):752-759
A类：
光谱共焦显微术,激光共焦扫描显微术
B类：
测量技术,技术综述,精密化,集成化,显微技术,用色,色散,光谱仪,解码,高精度测量,位移测量,三维重建,表面粗糙度,粗糙度检测,厚度检测,无接触,在线测量,精密测量,微电子,工程材料,航空航天,光学系统,系统结构,光学镜头,光源,数据处理算法,重大进展,测量原理,微纳测量
AB值：
0.274387
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