典型文献
电弧离子镀CrAlN-DLC硬质复合薄膜的成分、结构与性能
文献摘要：
为了改善CrAlN薄膜的摩擦性能,本研究在增强磁过滤脉冲偏压电弧离子镀设备上,用分离靶弧流调控技术在硬质合金基体上分别制备了不同成分的CrAlN-DLC硬质复合薄膜,并采用不同手段表征了薄膜的表面形貌、成分、相结构以及力学和摩擦性能.结果表明,不同成分薄膜表面均平整致密,膜厚均在1.05μm左右.随着靶弧流比IC/ICrAl的升高,薄膜中碳的原子分数由33.1％升至74.6％.薄膜的相结构主要由晶体相和非晶相复合组成,其晶体相主要为c-(Cr,Al)N相,且随着碳含量增大晶体相减少、晶粒尺寸减小,其非晶相主要为DLC,其中sp2/sp3的比值随碳含量增大而减小.相应地,薄膜的硬度随着碳含量增大而提高,当碳的原子分数为74.6％时,达到最大值(26.2±1.4)GPa,且该成分点处薄膜摩擦系数也降至最小值0.107,磨损率仅为3.3×10–9mm3/Nm.综合而言,当非晶DLC相最多时,CrAlN-DLC复合薄膜的综合性能达到最佳,较之CrAlN薄膜,摩擦性能显著提高.
文献关键词：
电弧离子镀;硬质复合薄膜;CrAlN-DLC;成分;相结构;硬度;摩擦性能
中图分类号：
作者姓名：
程玮杰;王明磊;林国强
作者机构：
大连理工大学材料科学与工程学院, 大连 116024;大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室, 大连 116024
文献出处：
引用格式：
[1]程玮杰;王明磊;林国强-.电弧离子镀CrAlN-DLC硬质复合薄膜的成分、结构与性能)[J].无机材料学报,2022(07):764-772
A类：
硬质复合薄膜,ICrAl,9mm3
B类：
电弧离子镀,CrAlN,DLC,结构与性能,摩擦性能,强磁,脉冲偏压,压电,流调,调控技术,硬质合金,同成分,表面形貌,相结构,均平,中碳,和非晶,晶相,碳含量,相减,晶粒尺寸,sp2,sp3,GPa,摩擦系数,最小值,磨损率,Nm,达到最佳,较之
AB值：
0.250946
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