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Zr55Cu30Al10Ni5非晶薄膜的制备与性能研究
文献摘要：
非晶薄膜由于其优异的性能而被广泛研究,如不粘性和耐腐蚀性,这对于大块金属玻璃形成能力强的Zr55Cu30Al10Ni5成分来说尤为突出.本文以Zr55Cu30Al10Ni5块状金属玻璃为靶材,通过直流磁控溅射制备非晶合金薄膜,研究了不同溅射功率对薄膜力学性能、不粘性、耐蚀性和表面粗糙度的影响.结果表明,在磁控溅射功率为75～165W的范围内,可以获得高质量的非晶态薄膜,其硬度达到～9.2GPa,弹性模量～164GPa,硬弹性比～0.055,自腐蚀电流密度～1.16μA·cm-2,自腐蚀电位-241.27mV,最大润湿角104°.这些性能数据与文献报道的接近,硬度甚至更高,证实该薄膜具有用于不粘和抗腐蚀方面的良好潜力.
文献关键词：
Zr基非晶合金;薄膜;磁控溅射;不粘性;耐蚀性
中图分类号：
作者姓名：
辛先峰;刘林根;林国强;董闯;丁万昱;张爽;王棋震;李军;万鹏
作者机构：
大连理工大学,辽宁 大连116024;大连交通大学,辽宁 大连116028;佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司,广东 佛山528300
文献出处：
引用格式：
[1]辛先峰;刘林根;林国强;董闯;丁万昱;张爽;王棋震;李军;万鹏-.Zr55Cu30Al10Ni5非晶薄膜的制备与性能研究)[J].真空,2022(05):1-6
A类：
Zr55Cu30Al10Ni5,非晶合金薄膜,165W,164GPa,27mV
B类：
制备与性能,如不,不粘性,耐腐蚀性,大块,金属玻璃,玻璃形成能力,分来,块状,靶材,直流磁控溅射,溅射功率,膜力,耐蚀性,表面粗糙度,非晶态,晶态薄膜,2GPa,弹性模量,自腐蚀电流密度,自腐蚀电位,润湿角,抗腐蚀
AB值：
0.265129
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