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双螺杆真空泵内压缩转子结构研究现状
文献摘要：
螺杆真空泵被广泛应用于半导体、镀膜、化工等行业,是一种理想的干式真空泵.其中内压缩式螺杆真空泵在气体输送阶段就开始对工作气体进行压缩,具有一系列突出优点.本文将内压缩式螺杆转子按结构分为变螺距与变截面两种,分别介绍了其数学模型设计、性能分析方法、动平衡计算等方面的研究进展,为内压缩式螺杆转子的理论研究提供了参考.
文献关键词：
螺杆真空泵;内压缩;变螺距;变截面
中图分类号：
作者姓名：
刘明昆;李丹童;邢子文
作者机构：
西安交通大学能源与动力工程学院,陕西 西安 710049
文献出处：
引用格式：
[1]刘明昆;李丹童;邢子文-.双螺杆真空泵内压缩转子结构研究现状)[J].真空,2022(04):28-32
A类：
双螺杆真空泵
B类：
内压缩,转子结构,结构研究,镀膜,干式真空泵,压缩式,气体输送,螺杆转子,变螺距,变截面,别介,模型设计,动平衡,平衡计算
AB值：
0.244211
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