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Φ600 mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法
文献摘要：
为抑制Φ600mm波长调谐干涉仪测量过程中振动引起的测量误差,研究了波长调谐振动抑制算法.该算法构建了基于波长调谐移相的振动理论模型,在此基础上建立光强与初始相位的关系曲线,从它的频谱中提取谐波系数用于修正初始相位,解算出真实相位.引入评价参数误差抑制系数,将该算法应用于Φ600 mm波长调谐平面移相干涉仪,经过振动抑制算法的处理,振动引起的二倍频"纹波"误差得到较好的抑制,波面峰谷值由0.1180λ降至0.0951λ(λ为波长),均方根值由0.0164λ降到0.0135λ,结果验证了振动抑制算法在波长调谐移相干涉仪上的有效性.
文献关键词：
测量;移相干涉;波长调谐;大口径干涉仪;振动抑制
中图分类号：
作者姓名：
郑东晖;陈磊;马致遥;李金鹏;胡晨辉
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094;中科院南京天文仪器有限公司,江苏南京210042
文献出处：
引用格式：
[1]郑东晖;陈磊;马致遥;李金鹏;胡晨辉-.Φ600 mm波长调谐干涉仪的振动误差抑制算法)[J].光学学报,2022(23):96-103
A类：
移相干涉,大口径干涉仪
B类：
波长调谐,误差抑制,600mm,测量误差,谐振动,振动抑制,振动理论,关系曲线,谐波系数,实相,评价参数,算法应用,二倍频,纹波,波面,峰谷值,均方根值
AB值：
0.21026
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