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清华大学集成电路学院团队首次实现亚1nm栅极长度晶体管
文献摘要：
2022年3月15日,记者从清华大学获悉,该校集成电路学院教授任天令团队在小尺寸晶体管研究方面取得重要进展.首次实现了具有亚1 nm栅极长度的晶体管,并具有良好的电学性能.2022年3月10日,相关成果以"具有亚1 nm栅极长度的垂直硫化钼晶体管"为题在线发表在国际学术期刊《自然》上.
文献关键词：
中图分类号：
[2]
经济（F）
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引用格式：
[1]-.清华大学集成电路学院团队首次实现亚1nm栅极长度晶体管)[J].河南科技,2022(06):2
A类：
B类：
清华大学,集成电路,路学,院团,1nm,栅极,晶体管,记者,获悉,该校,小尺寸,重要进展,电学性能,硫化钼,为题
AB值：
0.402732
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