典型文献
关于半导体、平板显示行业特气系统构筑的要点分析
文献摘要：
集成电路芯片、平板显示制造广泛使用特殊气体,制造过程中对特气系统安全、供应稳定性要求极高.目前特气系统设计可参照的国际标准规范有:SEMI、NFPA、CGA、FM[1],国内标准有:《特种气体系统工程技术标准-GB60646》,这些文献重点阐述特气系统的安全总体要求,且集成电路、平板显示(TFT-LCD、AMOLED)这些细分领域特气使用特征还存在较大差异,为解决工厂建设者在特气系统构筑的整个过程中缺少参考文献的问题,作者结合作者多年建设和运行的经验,从建设方安全稳定运行的角度出发提出设计中需要关注且容易忽略的一些细节问题,以期为半导体、平板显示等电子工厂特气系统的设计和建设人员提供参考.
文献关键词：
集成电路;平板显示;特气系统;设计
中图分类号：
作者姓名：
周莉
作者机构：
南京京东方显示技术有限公司,江苏 南京 210000
文献出处：
引用格式：
[1]周莉-.关于半导体、平板显示行业特气系统构筑的要点分析)[J].科学技术创新,2022(07):25-28
A类：
特气系统,GB60646
B类：
平板显示,要点分析,集成电路,制造过程,系统安全,国际标准,标准规范,SEMI,NFPA,CGA,FM,内标,特种气体,全总,总体要求,TFT,LCD,AMOLED,分领,使用特征,工厂建设,参考文献,合作者,安全稳定运行,细节问题,设计和建设
AB值：
0.338257
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