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高加速精密运动平台前馈控制研究
文献摘要：
随着微电子制造装备向着高质量和高效率的方向发展,从而对精密运动平台提出了高速高加速和高精度的性能指标要求.通常为了实现高速高精度,会采用前馈控制,但一般只是采用速度前馈和加速度前馈两个参数进行调试,但运用在高加速精密运动平台上,还是不能更好地消除动态跟随误差和稳态整定误差.针对常用的前馈控制算法,通过对控制器输出指令进行五阶S曲线速度规划,引入加加速度指令,从而提出了优化加加速度前馈参数的控制算法,来有效地解决高加速精密运动平台的快速定位动态响应和稳态整定性能问题.
文献关键词：
高加速;精密运动平台;前馈控制
中图分类号：
作者姓名：
胡永珊;罗志良;刘志军;文虹;谢求泉;柳志林
作者机构：
江西工业工程职业技术学院机械工程学院,江西 萍乡 337000
文献出处：
引用格式：
[1]胡永珊;罗志良;刘志军;文虹;谢求泉;柳志林-.高加速精密运动平台前馈控制研究)[J].机械工程与自动化,2022(03):14-15,19
A类：
精密运动平台
B类：
高加速,台前,微电子制造,电子制造装备,性能指标要求,高速高精度,速度前馈,动态跟随,跟随误差,整定,前馈控制算法,线速度,速度规划,加加速度,快速定位,动态响应
AB值：
0.239325
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