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半导体洁净室的空气净化技术综述
文献摘要：
阐述ITRS和IRDS的要求,洁净室空气净化系统对粒子浓度、气态污染物的管控均有严格要求.洁净室的主流净化技术包括风机过滤单元、高效/超高效过滤器、化学过滤器.直流FFU因其节能特性成为主流产品,高效/超高效过滤器的材质由传统的超细玻璃纤维发展到PTFE、纳米纤维.化学过滤器因其所去除的气态污染物的多样化,材料也更为多元化,包括活性炭、离子交换树脂、离子交换纤维及其他多种材料.
文献关键词：
半导体洁净室;风机过滤单元;高效/超高效过滤器;化学过滤器;滤料
中图分类号：
作者姓名：
陈玲
作者机构：
美埃(中国)环境科技股份有限公司,江苏 211111
文献出处：
引用格式：
[1]陈玲-.半导体洁净室的空气净化技术综述)[J].集成电路应用,2022(01):49-53
A类：
半导体洁净室,IRDS,超细玻璃纤维
B类：
空气净化技术,技术综述,ITRS,空气净化系统,粒子浓度,气态污染物,严格要求,风机过滤单元,超高效,高效过滤器,化学过滤器,FFU,节能特性,主流产品,PTFE,纳米纤维,活性炭,离子交换树脂,离子交换纤维,多种材料,滤料
AB值：
0.26664
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