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激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究
文献摘要：
介绍了利用激光干涉仪直线度镜组和角度镜组检测直线度的测量原理、检测方法及注意事项,并着重对两种检测方法进行对比分析,依托检测数据分析两种检测方法的精度、优势及应用环境的区别.
文献关键词：
激光干涉仪;直线度镜组;角度镜组;比对
中图分类号：
作者姓名：
赵红;严昊明;刘莹
作者机构：
沈阳机床(集团)有限责任公司设计研究院,沈阳110042
文献出处：
引用格式：
[1]赵红;严昊明;刘莹-.激光干涉仪两种镜组直线度检测比对研究)[J].计量科学与技术,2022(03):54-57,29
A类：
直线度镜组,角度镜组
B类：
激光干涉仪,比对研究,测量原理,检测数据,优势及应用,应用环境
AB值：
0.15923
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