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计算电容屏蔽电极位移测量的不确定度评估
文献摘要：
计算电容是电学阻抗单位复现的基准装置,是电容、电感和交流电阻的溯源依据.它是电磁计量领域内除量子电压、量子电阻基准之外准确度最高的装置.计算电容装置实现微小电容值(0.2至0.6 pF)精确测量的关键在于对其屏蔽电极位移的高准确度测量.从计算电容屏蔽电极位移测量的基本原理出发,系统分析了屏蔽电极位移测量结果的影响因素,具体包含Fabry-Perot干涉仪的锁定、稳频激光波长的实时校准、残余气体折射率影响、测量余弦误差以及Gouy相位修正,结合计算电容测量结果的复现性,得到屏蔽电极位移测量的相对标准不确定度为4.7×10-9.
文献关键词：
计量学;计算电容;位移测量;锁定干涉仪;不确定度评估;屏蔽电极
中图分类号：
作者姓名：
王建波;殷聪;钱进;刘忠有;黄璐;杨雁;陆祖良
作者机构：
中国计量科学研究院,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]王建波;殷聪;钱进;刘忠有;黄璐;杨雁;陆祖良-.计算电容屏蔽电极位移测量的不确定度评估)[J].计量学报,2022(04):437-444
A类：
量子电压,锁定干涉仪
B类：
计算电容,屏蔽电极,位移测量,不确定度评估,电学,复现,基准装置,交流电阻,电磁计量,微小电容,电容值,pF,精确测量,高准确度,Fabry,Perot,稳频激光,激光波长,气体折射率,余弦,Gouy,电容测量,相对标准不确定度
AB值：
0.295494
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