典型文献
微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿
文献摘要：
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型.采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量机的垂直度误差进行建模和补偿.通过对0级标准量块厚度进行测量和垂直度误差补偿,量块X、Y方向厚度测量误差分别减小了 11 μm和4 μm,验证了垂直度误差测量方法和补偿模型的有效性.
文献关键词：
计量学;微纳米三坐标测量机;垂直度误差;建模补偿
中图分类号：
作者姓名：
李瑞君;李洁;何亚雄;程真英;黄强先
作者机构：
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室,安徽合肥230009
文献出处：
引用格式：
[1]李瑞君;李洁;何亚雄;程真英;黄强先-.微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿)[J].计量学报,2022(04):452-456
A类：
微纳米三坐标测量机,建模补偿
B类：
三轴,垂直度误差,误差测量,误差源,高精度测量,补偿模型,光电位,位置敏感,PSD,测量装置,差转,转化成,直线度误差,量块,误差补偿,厚度测量,测量误差
AB值：
0.163151
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