典型文献
步距规动态测量方法研究
文献摘要：
步距规是一种典型的多量值面间距标准器,由于各工作面间相互阻隔,使步距规的校准具有一定难度.本文提出了一种新的测量方法,即应用光切显微镜的测量原理实现被测工作面的精确定位,给激光干涉比长仪提供了各个测量面的触发信号,从而实现了面间距的非接触动态连续测量.根据该方法研制了光学测头,并安装在激光干涉比长仪上进行了测量,分别对测头的定位精度、系统的测量重复性以及测量精度进行了实验,并给出了实验结果.目前,用此方法测量步距规的面间距,重复性可达16nm,测量不确定度优于U=0.1μm+1.5×10-6 L,k=2,其中L为被测步距规总长,μm.
文献关键词：
步距规;面间距测量;精确定位;非接触测量;动态连续测量
中图分类号：
作者姓名：
丁晨;王蔚晨;高宏堂;杨自本
作者机构：
安徽省计量科学研究院;中国计量科学研究院
文献出处：
引用格式：
[1]丁晨;王蔚晨;高宏堂;杨自本-.步距规动态测量方法研究)[J].计量与测试技术,2022(04):17-20,24
A类：
步距规,动态连续测量,16nm,面间距测量
B类：
动态测量,多量,标准器,阻隔,测量原理,精确定位,激光干涉,比长仪,发信号,触动,测头,定位精度,测量重复性,测量精度,测量不确定度,m+1,总长,非接触测量
AB值：
0.249415
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