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微米级电容式静力水准器设计及标定研究
文献摘要：
基于当前高能同步辐射光源(HEPS)装置的沉降监测需求,课题组设计关键参数和结构,研制了国内首个微米级单极板电容式静力水准器样机.本文重点研究该水准器的标定和精度验证,针对传统的标准量块和位移台标定法存在标定精度低、机械加工要求高等问题,创新性采用单水准器直接标定法和多段拟合参数获取方案,实现10mm量程的微米级标定;同时提出采用激光反馈干涉仪联合纳米级位移台直接监测液位变化,实现单水准器的全量程精度验证,精度3μm;通过重载位移台进行了7 m距离的两点监测系统的精度验证,在10 mm量程内相对高程监测精度可达到5 μm.结果表明样机精度符合设计要求,可为我国大型装置的高精度高程向监测提供可靠手段.
文献关键词：
微米级;电容式水准器;单水准器标定;精度验证
中图分类号：
作者姓名：
马娜;金伟其;董岚;王铜;何振强
作者机构：
北京理工大学光电成像技术与系统教育部重点实验室 北京 100081;散裂中子源科学中心 东莞 523803
文献出处：
引用格式：
[1]马娜;金伟其;董岚;王铜;何振强-.微米级电容式静力水准器设计及标定研究)[J].仪器仪表学报,2022(09):27-33
A类：
水准器,激光反馈干涉,电容式水准器,单水准器标定
B类：
微米级,静力水准,高能同步辐射光源,HEPS,沉降监测,题组设计,单极,极板,样机,精度验证,量块,台标,标定精度,机械加工,多段,拟合参数,参数获取,10mm,量程,干涉仪,纳米级,液位,重载,两点,监测精度,靠手
AB值：
0.283165
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