典型文献
基于激光干涉仪的定位误差补偿实验研究
文献摘要：
定位精度是激光开槽机的一项重要技术指标.使用SJ6000激光干涉仪对KW-355型号的激光开槽机进行X、Y、Z轴的定位精度和重复定位精度进行测试实验,依据测试数据对激光开槽机的运行程序进行误差补偿,补偿误差后再使用激光干涉仪测试.经过多次误差补偿测试后,使开槽机的定位精度满足技术要求.
文献关键词：
定位精度;激光干涉仪;激光开槽机;误差补偿
中图分类号：
作者姓名：
段密克;徐迎春
作者机构：
中国电子技术标准化研究院 计量与检测中心
文献出处：
引用格式：
[1]段密克;徐迎春-.基于激光干涉仪的定位误差补偿实验研究)[J].计量与测试技术,2022(04):36-40
A类：
激光开槽机,SJ6000
B类：
激光干涉仪,定位误差,误差补偿,技术指标,KW,重复定位精度,测试实验,测试数据,运行程序
AB值：
0.127379
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