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照明方式对微型圆柱直径测量的影响
文献摘要：
在靶参数检验过程中,发现应用测量显微镜测量黑腔、芯轴等圆柱形零件的直径时,其测量值始终偏小.因此,本文通过理论分析和实验验证,明确了问题产生的原因,即不平行光照明造成底光照明模式下圆柱直径测量值偏小,提出了采用平行光照明方式解决该问题的技术方案,并开展了相应的测试验证.结果表明,本文所建议的测量方案使微型圆柱直径测量误差大为降低,其测量误差约1μm.
文献关键词：
微型圆柱;照明方式;直径测量;平行照明
中图分类号：
作者姓名：
叶成钢;胡勇;王琦;马小军
作者机构：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心
文献出处：
引用格式：
[1]叶成钢;胡勇;王琦;马小军-.照明方式对微型圆柱直径测量的影响)[J].计量与测试技术,2022(10):55-56,63
A类：
微型圆柱,平行照明
B类：
照明方式,直径测量,参数检验,芯轴,圆柱形,零件,测量值,测试验证,测量方案,测量误差
AB值：
0.197
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