典型文献
结合多光束光学应力传感器与改进的Canny算法求曲率半径的方法研究
文献摘要：
利用多光束光学应力传感器(MOSS)求薄膜曲率需要测量出光束在反射前后的间距,根据相邻入射(折射)光束间距即可计算出薄膜的曲率半径.光束的间距可由接收到的光斑中心点确定.提取光斑的中心点主要利用Canny边缘检测算法和椭圆拟合算法.用CMOS传感器得到的光斑阵列图像,在光斑周围参杂有很大的椒盐噪声,对于传统的Canny算法,无法准确的检测出光斑的边缘.利用一种改进的Canny边缘检测算法,可有效的消除光斑周围的噪声,并较好的保留光斑边缘.最后利用椭圆拟合算法对边缘进行拟合,求得光斑阵列的所有中心点.实验最后选用标准件进行验证,用测得的间距算出曲率半径与实际进行对比,误差结果在2％～4％,证明该方法可行.
文献关键词：
光束间距;薄膜曲率;边缘检测;椭圆拟合
中图分类号：
作者姓名：
周陈昊;凌晓;杨连乔;张建华
作者机构：
上海大学材料科学与工程学院 上海 200072
文献出处：
引用格式：
[1]周陈昊;凌晓;杨连乔;张建华-.结合多光束光学应力传感器与改进的Canny算法求曲率半径的方法研究)[J].电子测量与仪器学报,2022(07):82-90
A类：
薄膜曲率,光束间距
B类：
多光束,应力传感器,Canny,曲率半径,MOSS,入射,可计算,光斑中心,中心点,边缘检测算法,椭圆拟合,拟合算法,CMOS,参杂,椒盐噪声,标准件
AB值：
0.207703
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
