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电子级三氯氢硅中微量氯硅烷杂质检测应用
文献摘要：
使用AGC NovaCHROM 1000气相色谱仪,搭载放电离子化检测器(DID),采用中心切割的方法检测电子级三氯氢硅中氯硅烷杂质.
文献关键词：
电子级三氯氢硅;中心切割;DID
中图分类号：
作者姓名：
王春英;周晓咪;刘正启
作者机构：
唐山三孚电子材料有限公司,河北 唐山063000;爱尔兰AGC仪器公司 北京代表处,北京100076
文献出处：
引用格式：
[1]王春英;周晓咪;刘正启-.电子级三氯氢硅中微量氯硅烷杂质检测应用)[J].低温与特气,2022(03):42-44
A类：
电子级三氯氢硅,NovaCHROM
B类：
氯硅烷,质检,检测应用,AGC,气相色谱仪,搭载,电离子,离子化,检测器,DID,中心切割
AB值：
0.233682
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