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直流偏压对CrN薄膜结构和性能的影响
文献摘要：
采用电弧离子镀技术在高速钢表面制备CrN薄膜,研究直流偏压对CrN薄膜结构和性能的影响.利用冷场发射扫描电镜和X射线衍射仪对薄膜的表面形貌和微观结构进行分析,利用球坑仪、显微硬度计以及多功能材料表面性能试验仪等,对薄膜的厚度、硬度以及结合力进行研究.结果表明,在不同直流偏压下,薄膜均由CrN相组成.当直流偏压从-60 V增加到-80 V时,薄膜表面大颗粒数数量和尺寸明显减少,沉积速率、硬度和结合力增加;但当直流偏压幅值继续增加时,薄膜表面大颗粒的数量和尺寸随之增加,沉积速率、硬度和结合力随之降低.当直流偏压为-80 V时,薄膜的表面形貌、沉积速率、硬度和结合力最佳.
文献关键词：
直流偏压;CrN薄膜;表面形貌;微观结构;沉积速率;力学性能
中图分类号：
作者姓名：
李碧晗;詹华;吴佳亿;刘继彬;汪瑞军
作者机构：
中国农业机械化科学研究院集团有限公司,北京100083;北京金轮坤天特种机械有限公司,北京100083;土壤植物机器系统技术国家重点实验室,北京100083
文献出处：
引用格式：
[1]李碧晗;詹华;吴佳亿;刘继彬;汪瑞军-.直流偏压对CrN薄膜结构和性能的影响)[J].新技术新工艺,2022(03):1-4
A类：
球坑仪
B类：
直流偏压,CrN,薄膜结构,结构和性能,电弧离子镀,离子镀技术,高速钢,钢表面,表面制备,冷场,场发射扫描电镜,表面形貌,显微硬度,硬度计,多功能材料,表面性能,性能试验,结合力,相组成,大颗粒,颗粒数,数数,沉积速率,加时
AB值：
0.257915
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